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【簡(jiǎn)答題】二氧化硅薄膜在集成電路中具有怎樣的應(yīng)用?
答案:
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致密;
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采用三明治金屬結(jié)構(gòu),包括:
(1)淀積Ti,使鎢塞和下一層金屬良好鍵合,層間介質(zhì)良好鍵合;
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