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填空題

離子注入是借其（）強(qiáng)行進(jìn)入靶材料中的一個（）物理過程。

答案：動能；非平衡

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外延生長方法比較多，其中主要的有（）外延、（）外延、金屬有機(jī)化學(xué)氣相外延、分子束外延、（）、固相外延等。

答案：化學(xué)氣相；液相；原子束外延

拋光片的質(zhì)量檢測項目包括：幾何參數(shù)，直徑、（）、主參考面、副參考面、平整度、彎曲度等；（），電阻率，載流子濃度，遷移率等；晶體質(zhì)量，晶向，位錯密度。

答案：厚度；電學(xué)參數(shù)