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填空題
如果淀積的膜在臺階上過度地變薄，就容易導致高的（）、（）或者在器件中產(chǎn)生不希望的（）。
答案：
膜應力；電短路；誘生電荷
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填空題
在外延工藝中，如果膜和襯底材料（），例如硅襯底上長硅膜，這樣的膜生長稱為（）；反之，膜和襯底材料不一致的情況，例如硅襯底上長氧化鋁，則稱為（）。
答案：
相同；同質(zhì)外延；異質(zhì)外延
